Các phương pháp làm sạch truyền thống: chủ yếu là làm sạch cơ học và làm sạch bằng hóa chất,… Làm sạch cơ học là làm sạch tiếp xúc, sẽ sinh ra ứng suất và làm hỏng lớp nền;hóa chất tẩy rửa sẽ ăn mòn bề mặt của phôi, và ô nhiễm có hại cho cơ thể con người.
Nguyên lý làm sạch bằng laser: Sử dụng tia laser mật độ công suất cao tác động lên bề mặt phôi cần làm sạch (không tiếp xúc), các chất ô nhiễm trên bề mặt phôi hấp thụ năng lượng laser hội tụ, nhanh chóng giãn nở, bốc hơi và bong ra. , từ đó tách khỏi bề mặt của phôi để đạt được mục đích làm sạch.
Do đó, làm sạch bằng laser có ưu điểm là hiệu quả cao, không tiếp xúc, không gây hư hại, bảo vệ môi trường xanh, chi phí thấp và điều khiển linh hoạt.So với các phương pháp làm sạch truyền thống, công nghệ làm sạch bằng tia laser chiếm ưu thế tuyệt đối.
Phân bố năng lượng điểm làm sạch bằng laser: mật độ năng lượng cao hơn ngưỡng phá hủy của chất nền, chất nền dễ bị phá hủy, và mật độ năng lượng thấp hơn ngưỡng cắt bỏ chất ô nhiễm thì không thể đạt được hiệu quả làm sạch.Do đó, làm sạch bằng laser nói chung cần phải chọn một mật độ năng lượng thích hợp để đảm bảo ô nhiễm.Vật liệu được loại bỏ và chất nền không bị hỏng.Laser đơn mode thường là chùm Gaussian.Chất lượng chùm tia tốt, nó có thể tập trung một điểm nhỏ và có mật độ năng lượng cực cao.Nó thích hợp để loại bỏ các chất ô nhiễm có độ bám dính cao như rỉ sét nặng, và cũng có thể có tác dụng tạo kết cấu nhất định.Trong một số trường hợp, việc làm sạch các vật thể chính xác như khuôn mẫu đòi hỏi bề mặt không thể bị hỏng, do đó, cần có một chùm đỉnh phẳng với sự phân bố năng lượng đồng đều để làm sạch.